Когда страна отступит от закона, тогда много в ней начальников
«Книга Притчей Соломоновых»
ГОСТ 25196-82
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Обозначение:
ГОСТ 25196-82
Статус:
действующий
Название рус.:
Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Название англ.:
Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Дата актуализации текста:
01.01.2009
Дата актуализации описания:
01.12.2008
Дата введения в действие:
01.07.1983
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
Внимание! Запрошенный документ есть в базе и будет доступен к просмотру и сохранению немедленно после регистрации. Регистрация платная - 3$ (единоразово, в валюте страны плательщика). Способ регистрации - мгновенный с помощью SMS.
ГОСТ 25196-82
... примите к сведению...
Сервисы, которые могут пригодиться
Около 9 тыс. рецептов блюд со всего мира на все случаи жизни, для гурманов и на каждый день,
сложные и очень простые...
Наверх