Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Обозначение:
ГОСТ 26239.8-84
Статус:
действующий
Название рус.:
Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния
Название англ.:
Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination
Дата актуализации текста:
01.01.2009
Дата актуализации описания:
01.12.2008
Дата введения в действие:
01.01.1986
Область и условия применения:
Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом
Список изменений:
№1 от --1991-01-01 (рег. --1990-06-26) «Срок действия продлен»
Внимание! Запрошенный документ есть в базе и будет доступен к просмотру и сохранению немедленно после регистрации. Регистрация платная - 3$ (единоразово, в валюте страны плательщика). Способ регистрации - мгновенный с помощью SMS.