Всё что сейчас с Вами происходит, Вы создали когда-то сами
«Вадим Зеланд»
ГОСТ Р 8.640-2008
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Обозначение:
ГОСТ Р 8.640-2008
Статус:
принят
Название рус.:
Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название англ.:
State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата актуализации текста:
01.01.2009
Дата актуализации описания:
01.12.2008
Дата введения в действие:
01.01.2009
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Внимание! Запрошенный документ есть в базе и будет доступен к просмотру и сохранению немедленно после регистрации. Регистрация платная - 3$ (единоразово, в валюте страны плательщика). Способ регистрации - мгновенный с помощью SMS.