Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Обозначение:
ГОСТ Р 52250-2004
Статус:
действующий
Название рус.:
Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Название англ.:
Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications
Дата актуализации текста:
01.01.2009
Дата актуализации описания:
01.12.2008
Дата введения в действие:
01.01.2005
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем
Внимание! Запрошенный документ есть в базе и будет доступен к просмотру и сохранению немедленно после регистрации. Регистрация платная - 3$ (единоразово, в валюте страны плательщика). Способ регистрации - мгновенный с помощью SMS.