Пока мы упорны и терпеливы мы можем получить все, что захотим
«Майк Тайсон»
ГОСТ 5.2105-73
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Обозначение:
ГОСТ 5.2105-73
Статус:
действующий
Название рус.:
Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название англ.:
Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста:
01.01.2009
Дата актуализации описания:
01.12.2008
Дата введения в действие:
01.09.1973
Область и условия применения:
Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
Внимание! Запрошенный документ есть в базе и будет доступен к просмотру и сохранению немедленно после регистрации. Регистрация платная - 3$ (единоразово, в валюте страны плательщика). Способ регистрации - мгновенный с помощью SMS.
ГОСТ 5.2105-73
... примите к сведению...
Сервисы, которые могут пригодиться
Около 9 тыс. рецептов блюд со всего мира на все случаи жизни, для гурманов и на каждый день,
сложные и очень простые...
Наверх